KEMET Actionneurs haute performance à boîtier métallique
Les actionneurs haute performance à boîtier métallique KEMET disposent d’un design étanche assurant une protection renforcée contre l’humidité ambiante et garantissant des performances optimisées ainsi qu’une durée de vie opérationnelle prolongée. Ces actionneurs piézoélectriques multicouches incluent les séries AHB, ASB et ASL. Les dispositifs reposent sur une conception propriétaire de la structure des éléments et sur l’utilisation de matériaux céramiques piézoélectriques présentant des coefficients d’électrostriction élevés Les actionneurs haute performance à boîtier métallique KEMET sont plus compacts que les actionneurs piézoélectriques conventionnels, mais produisent des déplacements et des forces supérieurs à basse tension. Ces actionneurs présentent une tolérance de capacité de ±20 %, une tension de modulation maximale de 150VCCet une résistance d’isolement de 1 MΩ ou plus. Les applications appropriées incluent les contrôleurs, les systèmes d’inspection et de lithographie, ainsi que les processus de dépôt et de gravure.Caractéristiques
- La conception à joint métallique offre une meilleure protection contre l’humidité ambiante
- Basés sur une conception de structure d’éléments propriétaires et des matériaux en céramique piézoélectrique avec des facteurs électrostrictifs élevés
- Offre des performances supérieures
- Durée de vie opérationnelle étendue
- De taille plus réduite que les actionneurs piézoélectriques classiques, tout en générant des déplacements et des forces supérieurs à basse tension
- La gamme comprend les séries AHB, ASB et ASL.
Applications
- Contrôleurs de débit massique (MFC)
- Dépositions et gravure
- Systèmes d’inspection
- Systèmes de lithographie
Caractéristiques techniques
- Tension de modulation maximale de 150VCC
- Tolérance de capacité : ±20 %
- Résistance d’isolement de 1 MΩ ou supérieure
- Température nominale de +85 °C ou +150 °C
Présentation générale
Boîtier métallique
Guide d'application
Publié le: 2026-08-31
| Mis à jour le: 2026-09-03
